Shenyang SterrenlichtGeavanceerdKeramiek begint met uitbreiding van halfgeleider-ecosysteem met nieuwe productiefaciliteiten

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., China's toonaangevende fabrikant van geavanceerde ovenmeubels voor siliciumcarbide, opgericht in 1995 via een baanbrekende Chinees-Duitse joint venture met Fine Technical Ceramics GmbH, heeft vandaag een strategische sprong voorwaarts aangekondigd in de integratie van de halfgeleidertoeleveringsketen. Het bedrijf is op 10 juni 2025 begonnen met de bouw van zijn productiefaciliteit voor kerncomponenten voor halfgeleiders en een CVD-werkplaats (Chemical Vapor Deposition), waarmee een transformatieve fase is ingegaan in zijn drie decennia durende reis van technologische innovatie.

Strategisch uitbreidingsoverzicht

Dit investeringsproject van 350 miljoen dollar versterkt de toewijding van Shenyang Starlight aan verticale integratie in de halfgeleiderproductie:

1. Core Component Facility: speciaal gericht op de massaproductie van siliciumcarbideonderdelen met een ultrahoge zuiverheid voor waferbehandeling, thermisch beheer en proceskamers.

2. CVD Workshop: Gespecialiseerd in geavanceerde siliciumcarbidecoatings voor halfgeleiderapparatuur, inclusief plasmabestendige en anticorrosielagen.

3. Geïntegreerd R&D-centrum: met geavanceerde laboratoria voor materiaalanalyse en processimulatiesystemen.

Technische mogelijkheden

De nieuwe faciliteiten zullen de bestaande sterke punten van Shenyang Starlight optimaal benutten:

1. Materiaalexpertise: 30 jaar ervaring in de productie van RSiC (herkristalliseerd siliciumcarbide) en NSiC (nitridegebonden siliciumcarbide)

2. Kwaliteitserfgoed: China's eerste ISO 9001-gecertificeerde fabrikant van siliciumcarbideovens (2002)

3. Precisietechniek: Bewerkingsnauwkeurigheid van minder dan 0,01 mm bewezen in componenten van halfgeleiderkwaliteit

4. Wereldwijde erkenning: 35% exportaandeel in meer dan 20 landen (volgens douanegegevens uit 2024)

Faciliteitenspecificaties

1. Halfgeleidercomponentenfabriek

2. Cleanroomnormen: ISO-klasse 5-7-omgevingen

3. Productiecapaciteit: jaarlijks meer dan 50.000 precisieonderdelen

Belangrijkste producten:

1. 12-inch waferdragers (450 mm buitendiameter)

2. CVD/CVI-procesbuizen

3. Randringcomponenten voor etssystemen

CVD Coating Werkplaats

Depositietechnologieën: PECVD-, LPCVD- en ALD-mogelijkheden

1. Coatingprestaties:

2. Oppervlakteruwheid ≤0,05 μm

3. Coatings met een zuiverheid van 99,999%

4. Duurzaamheid van meer dan 10.000 cycli

Impact op de industrie

Deze uitbreiding is gericht op kritieke behoeften in de toeleveringsketen:

1. Lokalisatie: de afhankelijkheid van geïmporteerde halfgeleidercomponenten met 40% verminderen

2. Technische doorbraken: ontwikkeling van gepatenteerde siliciumcarbidecoatings met hoge entropie

3. Duurzaamheid: implementatie van gesloten materiaalrecyclingsystemen

R&D-samenwerking

Het project bouwt voort op bestaande partnerschappen met:

1. Tsinghua Universiteit: Gezamenlijke ontwikkeling van AI-gestuurde procesoptimalisatiesystemen

2. Northeastern University: Geavanceerde thermische spanningsmodellering voor grootformaatcomponenten

3. CAS Institutes: Keramische matrixcomposieten van de volgende generatie

Projecttijdlijn

1. Juni 2025: Oplevering fundering

2. Q4 2025: Installatie van apparatuur

3. Q2 2026: Pilotproductie

4. 2027: Volledige capaciteitsoperatie

Leiderschapsperspectief

"Deze uitbreiding vertegenwoordigt onze evolutie van ovenspecialist tot architect van halfgeleideroplossingen, aldus de heer Liu Changchun, voorzitter. "Door CVD-mogelijkheden te integreren met precisieproductie, zijn we in staat om complete subsysteemoplossingen te leveren voor 3nm-knooppuntfabrieken.

Marktpositionering

Het initiatief is in lijn met de doelstellingen van China op het gebied van zelfvoorziening in de halfgeleidersector en richt zich op:

1. 25% marktaandeel in binnenlandse siliciumcarbidecomponenten in 2028

2. 50% kortere doorlooptijden voor geavanceerde siliciumcarbidecoatings

3. 30% kostenvoordeel ten opzichte van geïmporteerde alternatieven

Duurzaamheidsverbintenissen

1. Energie-efficiëntie: 40% minder energieverbruik door terugwinning van restwarmte

2. Emissiebeheersing: 99,9% deeltjesfiltratie in CVD-processen

3. Materiaalgebruik: 95%+ opbrengstpercentage dankzij AI-geoptimaliseerde bewerking