Shenyang Starlight Advanced Ceramics bereikt mijlpaal in halfgeleiderproductie met nauwkeurige 451 mm OD-voeringbuizen voor 12-inch waferverwerking

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., een pionier in de productie van siliciumcarbide met meer dan dertig jaar ervaring, heeft onlangs een belangrijke doorbraak bereikt met de succesvolle levering van gespecialiseerde linerbuizen met een buitendiameter van 451 mm (OD) voor de productie van 12-inch halfgeleiderwafers. Deze prestatie onderstreept de leidende positie van het bedrijf in de ontwikkeling van cruciale keramische componenten voor de wereldwijde halfgeleiderindustrie. De nieuw ontwikkelde linerbuizen, speciaal ontworpen voor toepassingen in de verwerking van wafers bij hoge temperaturen, hebben een geoptimaliseerde flensbuitendiameter van 451 mm en zijn ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van geavanceerde halfgeleiderproductieapparatuur. Deze buizen maken gebruik van siliciumcarbide met een ultrahoge zuiverheidsgraad (≥ 99,999%) en uitzonderlijke thermische stabiliteit (bedrijfstemperatuur: omgevingstemperatuur tot 1450 °C).voeringbuizen Componenten zorgen voor minimale thermische uitzetting (coëfficiënt van 4,0 × 10⁻⁶/K) en superieure weerstand tegen corrosieve procesgassen, wat consistente prestaties mogelijk maakt in oxidatie-, diffusie- en chemische dampdepositie (CVD)-processen. De precisietechniek van de linerbuizen garandeert maattoleranties binnen ±0,05 mm en een oppervlakteruwheid onder Ra 0,1 μm, cruciaal voor het behoud van de integriteit van de wafer en het verminderen van het risico op deeltjesverontreiniging in cleanroomomgevingen.

De voeringbuizenHet ontwikkelingsproces omvatte 18 maanden intensieve R&D-samenwerking met toonaangevende halfgeleiderfabrikanten, waarbij geavanceerde eindige-elementenanalyse (FEA) werd toegepast om de gasstroomdynamiek en thermische uniformiteit over de binnendiameter van 300 mm te optimaliseren. Meer dan 500 thermische cyclustests valideerden devoeringbuizen' duurzaamheid bij snelle temperatuurschommelingen, terwijl gepatenteerde sintertechnieken ervoor zorgenvoeringbuizen structurele integriteit bij extreme temperaturen. De productie vindt plaats in cleanrooms van ISO-klasse 5, waarbij elke unit een uitgebreide inspectie ondergaat. voeringbuizenKwaliteitscontroles, waaronder heliumlektesten, restgasanalyse (RGA) en metrologische validatie met behulp van laserscanners en coördinatenmeetmachines (CMM's). Vroege gebruikers van geavanceerde logic- en geheugenchipproductie hebben een vermindering van 35% in de ovenuitval en een verbetering van 20% in de waferopbrengst gemeld ten opzichte van traditionele kwartsvoeringen. Dit is toe te schrijven aan de inherente chemische inertie van het materiaal en de verminderde onderhoudsvereisten.

Dit voeringbuizenInnovatie speelt in op de toenemende vraag van de halfgeleiderindustrie naar grotere wafers en een hogere procesconsistentie, met name nu fabrikanten overstappen op nodes met een diameter van minder dan 5 nm. Het ontwerp met een buitendiameter van 451 mm maakt naadloze integratie met verticale ovens van de volgende generatie mogelijk, terwijl de extreem lage metaalverontreinigingsniveaus (<0,1 ppb) van het materiaal verontreiniging door dopant in gevoelige processen voorkomen. Naast de huidige toepassingen ontwikkelt Shenyang Starlight actief slimmevoeringbuizenprototypes met ingebouwde sensoren voor realtime temperatuurbewaking en adaptieve thermische beheersystemen die compatibel zijn met Industrie 4.0-productie-ecosystemen.

Met een geschiedenis van 30 jaar en meer dan 2.000 succesvolle klantpartnerschappen blijft Shenyang Starlight innovatie stimuleren op het gebied van hoogwaardige keramiek. Daarbij combineren we uitmuntende materiaalkunde met precisietechniek om de meest complexe uitdagingen in de halfgeleiderindustrie op te lossen.