Shenyang Starlight Advanced Ceramics behaalt doorbraak in de productie van kwartsboten voor halfgeleiders

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., een toonaangevende fabrikant van siliciumcarbideproducten met meer dan 30 jaar industriële expertise, heeft met succes een hoogwaardige kwartsbootserie ontwikkeld en geleverd voor de verwerking van halfgeleiderwafers. Deze mijlpaal onderstreept het vermogen van het bedrijf om te voldoen aan de strenge eisen van geavanceerde halfgeleiderproductie.

Innovatie in Quartz Boat-technologie

Na jaren van grondig onderzoek, ontwikkeling en testen heeft Shenyang Starlight zijn serie kwartsboten geperfectioneerd, speciaal ontworpen voor waferwarmtebehandeling in de halfgeleiderproductie. De belangrijkste kenmerken zijn:

Siliciumcarbidemateriaal met een ultrahoge zuiverheidsgraad, wat zorgt voor minimale verontreiniging tijdens processen met hoge temperaturen.

Uitzonderlijke thermische stabiliteit: bestand tegen snelle temperatuurschommelingen tot 1.200 °C.

Nauwkeurig ontworpen structurele integriteit voorkomt dat de wafer kromtrekt of beschadigd raakt tijdens de verwerking.

Deze kwartsboten van siliciumcarbide zijn essentieel voor wafer-gloei-, diffusie- en oxidatieprocessen, waarbij de zuiverheid van het materiaal en thermische prestaties van het grootste belang zijn.

Voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie

Halfgeleiderfabrikanten hebben behoefte aan consistente, contaminatievrije oplossingen voor de verwerking van delicate siliciumwafers. De siliciumcarbide-kwartsboten van Shenyang Starlight spelen in op deze behoeften door het volgende te bieden:

• Superieure chemische bestendigheid tegen corrosieve gassen die worden gebruikt bij afzetting en etsen.

• Geoptimaliseerd ontwerp voor gelijkmatige warmteverdeling, waardoor de waferspanning wordt verminderd.

• Lange levensduur, lagere totale eigendomskosten voor halfgeleiderfabrieken.

"Onze siliciumcarbide kwartsbootserie is het resultaat van jarenlange verfijning van de materiaalkunde, aldus een woordvoerder van het bedrijf. "We hebben kwarts van hoge zuiverheid en siliciumcarbide gecombineerd met nauwkeurige productie om een ​​product te leveren dat voldoet aan de strenge normen van de halfgeleiderproductie.

R&D en kwaliteitsborging

Het succes van Shenyang Starlight komt voort uit:

Toegewijd R&D-team, dat samenwerkt met toonaangevende academische instellingen.

Geavanceerde testprotocollen, waaronder thermische schokbestendigheid en analyse van deeltjesemissie.

ISO 9001-gecertificeerde productie, waardoor consistentie van batch tot batch wordt gegarandeerd.

De kwartsboten van het bedrijf hebben uitgebreide kwalificatietests ondergaan in samenwerking met fabrikanten van halfgeleiderapparatuur, waarmee de betrouwbaarheid van de siliciumcarbideproducten in praktische toepassingen is bevestigd.

Toepassingen in waferfabricage

De kwartsbootserie wordt nu toegepast voor:

• Front-end waferbewerking (bijv. oxidatie, doping).

• Back-end-annealing voor geavanceerde verpakkingen.

• Productie van fotovoltaïsche cellen, waarbij stabiliteit bij hoge temperaturen van cruciaal belang is.

Toekomstige ontwikkelingen

Voortbouwend op dit succes breidt Shenyang Starlight zijn halfgeleiderkeramiekportfolio uit met lopende projecten in:

• Met siliciumcarbide gecoate kwartscomponenten voor verbeterde duurzaamheid.

• Aangepaste bootontwerpen voor de volgende generatie waferformaten.

• Materialen met lage deeltjesemissie voor compatibiliteit met EUV-lithografie.

Toewijding aan uitmuntendheid in halfgeleiders

"De productie van halfgeleiders ontwikkelt zich razendsnel en wij streven ernaar om geavanceerde keramische oplossingen te leveren die bijdragen aan het succes van onze klanten, voegde de woordvoerder toe.