Shenyang Starlight Advanced Ceramics: een 30-jarige erfenis van baanbrekende siliciumcarbidetransitie naar halfgeleidertechnologie

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., een pionier in de productie van siliciumcarbide met dertig jaar ervaring, maakt een strategische overstap van traditionele ovenmeubelproductie naar oplossingen voor halfgeleiders. Dankzij zijn diepgewortelde technische expertise en wereldwijde supply chain-capaciteiten staat het bedrijf klaar om precisie opnieuw te definiëren.siliciumcarbidecomponenten voor de volgende generatie chipproductie.

Van oven tot chip: een strategische evolutie

Shenyang Starlight, opgericht in 1995 als een Chinees-Duitse joint venture, richtte zich aanvankelijk op industriële ovencomponenten en verwierf erkenning als een nationale hightechonderneming en exporteerde producten naar meer dan 20 landen. Met de halfgeleidersiliciumcarbideDe markt, waarvan wordt verwacht dat deze tegen 2028 de $ 10 miljard zal overschrijden, begon in 2019 met diversificatie door de oprichting van een divisie voor geavanceerde materialen, gericht op hoogwaardigesiliciumcarbidestructurele onderdelen voor halfgeleiderapparatuur.

"Onze verandering sluit aan bij China's streven naar zelfredzaamheid op het gebied van halfgeleiders", aldus CEO Xing.siliciumcarbideDe thermische stabiliteit en zuiverheid maken het onmisbaar voor ets-, depositie- en waferbehandelingssystemen.”

Technologische doorbraken stimuleren de transitie

1. Innovatie in ultrazuivere materialen

Het bedrijf produceert nu 4N+ (99,99%) zuiverheidsiliciumcarbidepoeders door middel van gepatenteerde raffinageprocessen, waardoor metaalverontreinigingen die essentieel zijn voor verontreinigingsgevoelige halfgeleiderprocessen, worden verwijderd.

Meertraps sinteren (reactiegebonden, herkristalliseerd en warmgeperst) garandeert een dichtheid van 3,1 g/cm³ en voldoet aan de ASML- en TEL-specificaties voor vacuümcompatibiliteit.

2. Precisieproductiemogelijkheden

Geavanceerde vormtechnieken, waaronder isostatisch persen en 3D-printen, maken complexe geometrieën mogelijk, zoals waferbehandelingsrobots en CVD-kamervoeringen met een tolerantie van ±0,01 mm.

Dankzij gepatenteerde laserondersteunde bewerking wordt de schade aan het oppervlak met 60% verminderd vergeleken met conventioneel slijpen, wat cruciaal is voor een oppervlakteruwheid van <1 nm in lithografiefasen.

3. Brancheoverschrijdende synergie

Het bedrijf heeft tientallen jaren ervaring in onderzoek en ontwikkeling van ovencomponenten en heeft ontwerpen die bestand zijn tegen thermische schokken (oorspronkelijk voor keramisch sinteren bij 1.600 °C) aangepast aan systemen voor snelle thermische verwerking (RTP) van halfgeleiders. Daarmee werd een 30% langere levensduur behaald dan met kwartsalternatieven.

Halfgeleiderproductportfolio

Waferdragers: herkristalliseerdsiliciumcarbidebakken voor hogetemperatuurdiffusieovens, waardoor de deeltjesgeneratie met 50% wordt verminderd ten opzichte van aluminiumoxide.

Vacuümklemmen: lage uitgassingsiliciumcarbideelektrostatische klemmen met ingebouwde koelkanalen voor EUV-lithografiesystemen.

Plasma-resistente componenten: Nitridegebondensiliciumcarbideschilden voor etsgereedschappen, gevalideerd in corrosieve plasmatesten van meer dan 500 uur.

Samenwerkend ecosysteem opbouwen

1. Academische partnerschappen: gezamenlijke ontwikkeling van met quantum dots verbeterdesiliciumcarbidecoatings met de Universiteit van Shenyang om het vastplakken van wafers in omgevingen met hoog vacuüm te minimaliseren.

2. Industrie-allianties: sloot zich in 2024 aan bij het Liaoning Semiconductor Materials Consortium en deeldesiliciumcarbideVerwerkingsnormen met SMIC en Naura.

3. Wereldwijde certificering: SEMI S2-conformiteit behaald in het tweede kwartaal van 2025, waarmee de weg werd vrijgemaakt voor Tier 1-goedkeuringen voor gieterijen.

Uitdagingen en toekomstige routekaart

Terwijl traditionele ovenproducten nog steeds 65% van de omzet uitmaken, streeft de halfgeleiderdivisie naar een jaarlijkse groei van 40% door:

Capaciteitsuitbreiding: verdubbeling van isostatische perslijnen vóór het derde kwartaal van 2026 om te voldoen aan de vraag naar 8-inch wafergereedschappen.

AI-gestuurde kwaliteitscontrole: implementatie van machine vision voor realtime defectdetectie tijdens CNC-bewerking.

Circulaire economie: recycling van 95% van het maalgoed via gepatenteerde filtratiesystemen, in lijn met ESG-doelstellingen.

"Onze 30-jarige reis weerspiegelt de evolutie van de Chinese productie", merkte CTO Zhang Wei op. "Van ovenplanken tot chipfabrieken, we schrijvensiliciumcarbide's volgende hoofdstuk—één atomaire laag tegelijk.”