Shenyang Starlight Advanced Ceramics levert met succes 8-inch siliciumcarbide drie-post boten voor de verwerking van halfgeleiderwafers

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., een toonaangevende fabrikant van siliciumcarbideproducten met meer dan 30 jaar ervaring in de sector, heeft onlangs een belangrijke mijlpaal bereikt door met succes gespecialiseerde 8-inch siliciumcarbide drie-postboten te ontwikkelen en te leveren voor warmtebehandelingstoepassingen voor halfgeleiderwafers.

Doorbraak in waferverwerkingstechnologie

De nieuw ontwikkelde 8-inchsiliciumcarbideDrie-postboten vertegenwoordigen een belangrijke vooruitgang in de waferbehandelingstechnologie, speciaal ontworpen voor:

• Hogetemperatuurverwerking van 200mm halfgeleiderwafers

• Uniforme thermische verdeling tijdens kritische fabricagestappen

• Verminderde besmettingsrisico's in cleanroomomgevingen

Technische superioriteit

Deze nauwkeurig ontworpen boten beschikken over:

• Ultrahoge zuiverheidsiliciumcarbidemateriaal (99,99% zuiverheid)

• Geoptimaliseerd ontwerp met drie palen voor minimaal wafercontact

• Uitzonderlijke thermische schokbestendigheid (bestand tegen snelle temperatuurschommelingen tot 1.400 °C)

• Superieure chemische inertheid tegen corrosieve procesgassen

Voldoen aan de eisen van de industrie

"Onze 8-inchsiliciumcarbideDrie-postboten spelen in op de groeiende behoefte van de halfgeleiderindustrie aan betrouwbare, hoogwaardige waferdragers, aldus Dr. Li, Chief Technology Officer. Ze bieden aanzienlijke voordelen ten opzichte van traditionele kwartsdragers, waaronder een langere levensduur en betere thermische stabiliteit.

Strikt ontwikkelingsproces

De productontwikkeling omvatte:

• 18 maanden intensief onderzoek en ontwikkeling

• Samenwerking met toonaangevende halfgeleiderfabrikanten

• Meer dan 200 thermische cyclustesten

• Strikte maatregelen ter bestrijding van deeltjesverontreiniging

Kwaliteitsborging

Elke eenheid ondergaat:

• Verificatie van de maatnauwkeurigheid (tolerantie van ±0,02 mm)

• Oppervlakteruwheidstesten (Ra < 0,2 μm)

• Uitgebreide visuele inspectie

• Eindreiniging en verpakking in een cleanroom van klasse 100

Toepassingen

De boten worden momenteel gebruikt voor:

• Diffusieprocessen

• Gloeibehandelingen

• Oxidatieprocessen

• CVD-toepassingen

Toekomstige ontwikkelingen

Voortbouwend op dit succes ontwikkelt Shenyang Starlight nu:

• 12-inch versie voor volgende generatie waferformaten

• Aangepaste ontwerpen voor specifieke procesvereisten

• Geavanceerde coatings voor gespecialiseerde toepassingen

Bedrijfsverbintenis

"Als bedrijf met drie decennia aan keramische expertise blijven we ons inzetten om de grenzen van halfgeleidermateriaaltechnologie te verleggen, voegde Dr. Li toe. "Deze productlancering toont ons vermogen om oplossingen te ontwikkelen die voldoen aan de meest veeleisende vereisten van de industrie.